Zweiachs-Ethercat-Antriebsmodule mit Auflösung im Sub-Nanometer-Bereich

ACS Motion Control hat seine Achsverstärkerserie Nano-PWMTM mit Pulsweitenmodulation um einen neuen Zweiachs-Ethercat-Antrieb erweitert. Die NPMPM-Baureihe bietet eine außerordentlich leistungsfähige Bewegungssteuerung, wie sie nach Angaben des Herstellers bislang nur mit Linearantrieben zu erreichen war. Die Nachteile der Linearantriebe hingegen spielen bei den neuen Antrieben keine Rolle mehr. Die NPMPM-Antriebe sind leistungsfähig und kostengünstig, Baugröße und Wärmeabgabe sind gering. In Verbindung mit dem optionalen laserbasierten 10MHz-Encoder und unter Anwendung des leistungsstarken Servo-Boost-Steuerungsalgorithmus sind Verstärker für Positionierungsanwendungen sehr leistungsstark. Zu den Leistungsmerkmalen zählen: Geschwindigkeit von mehr als 2m/s, Stillstandsschwankungen im Sub-Nanometer-Bereich, Positionsfehler im Nanometer-Bereich und sehr guter Gleichlauf bei bestem Ausregelverhalten. Der NPMPM-Antrieb wird als Slave von jedem ACS-Ethercat-Master unterstützt. Die Antriebsbaureihe wurde bereits erfolgreich in anspruchsvollen Anwendungen wie Testverfahren für Halbleiter, der Inspektion von Flachbildschirmen und der Präzisionsbearbeitung von Bauteilen eingesetzt.