XYZ-Positioniersystem für die Halbleiterinspektion

Die Bewegungsachsen können stillstandsfrei ausgewechselt werden, da das Interface vorjustiert ist.
Die Bewegungsachsen können stillstandsfrei ausgewechselt werden, da das Interface vorjustiert ist. Bild: Steinmeyer Mechatronik GmbH

Das XYZ-Positioniersystem zur automatisierten Inspektion hat Steinmeyer Mechatronik speziell für die Qualitätskontrolle von großen Wafern, Probecards und Leiterplatten entwickelt. Es erlaubt die Hochgeschwindigkeitspositionierung entlang zweier linearer Achsen und gewährleistet einen erhöhten Durchsatz. Das Inspektionssystem mit Verfahrwegen bis 720mm erlaubt die gleichzeitige Überprüfung mehrerer 300-mm-Wafer oder einzelner bis 700 x 700mm großer Substrate mit Spitzengeschwindigkeiten von bis zu 1.000mm/s. Eisenlose Direktantriebe machen dieses hohe Tempo möglich. Dank der Wiederholgenauigkeit von 0,3µm lassen sich präzise Messergebnisse und Qualitätssteigerungen erzielen. Die Z-Achse wurde für Sensoren und Kamerasysteme bis 5kg konzipiert. Die Vertikalverstellung kann dabei wahlweise fest, manuell, motorisch mit Spindel oder dynamisch mit pneumatisch entlastetem Direktantrieb für Höhenkompensation bei voll interpolierter Bewegung erfolgen. Auch die Prüflingsauflage ist applikationsspezifisch anpassbar, zur Wahl stehen geschliffene Platte, Platte mit Bohrraster und Chuck. Bei dem XYZ-System handelt es sich um eine Komplettlösung inklusive Stahlgestell und Luftdämpfern, wobei letztere zusammen mit der massiven, schweren Grundplatte aus Granit eine Entkopplung gegenüber Bodenvibrationen sicherstellen – ideal für Messungen mit µm- und sub-µm Auflösung. Befestigungsbohrungen für Gehäuseanbauten sind vorhanden. Das Inspektionssystem wird mit voll vermessener Genauigkeit sowie angepasster Verkabelung und Vakuumführung entsprechend der eingesetzten Sensorik und Waferaufnahme geliefert und lässt sich dank Portalaufbau einfach in bestehende Linienprozesse integrieren. Eine Ausführung für höchste Reinraumansprüche bis ISO1 mit interner Absaugung und Partikelfallen ist optional verfügbar. Die Steuerung erfolgt über einen separaten Motion-Controller für drei Achsen, der sich schnell und unkompliziert in die vorhanden Steuerungsumgebungen einbinden lässt. DLL und API zur aufwandsarmen Softwareintegration sind erhältlich, ebenso Beckhoff oder ACS. Ein flexibles Wartungskonzept garantiert darüber hinaus minimalen Aufwand bei der Instandhaltung. So können beispielsweise die Bewegungsachsen dank vorjustiertem Interface stillstandsfrei ausgewechselt werden.

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